高精度卓上３D測定装置

白色干渉を使用した３次元センサーを使用し、対象物の3次元形状をサブミクロンの高精度での計測が可能な卓上装置です。センサ一つ一つが高度な演算処理を行うことができる独自のCMOSセンサーにより非接触で高精度かつ高速な3次元計測が可能になります。

特徴

• 高精度、高速での3次元計測
• 通常の画像処理では困難であった透明な液面やガラス、反射率の高い鏡面 対象物の表面も正確に計測することが可能
• お客様の要望に合わせて画像処理プログラムをインストール

対象物・用途

• 段階的に変化する高さ、角度、形状計測
• 表面のうねり、粗さ計測
• 傷や汚れなどの欠陥検出
• 面の平坦度、変形率の計測
• 数nmオーダーのフィルム等の厚さ計測(断層モード)